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根据设计中的计算，这台光刻机如果能够做到完美无瑕，制程应该能在四十纳米左右。可是，随便在零件加工中增加一个纳米的误差，在装配中增加一个纳米的装配误差，无数的零部件组合起来，恐怕带来的误差绝对会超过数十纳米。